C'est un record ! Le capteur d'empreintes digitales développé dans le cadre du projet européen PiezoMAT par un consortium de 8 partenaires dont le Leti, institut de CEA Tech, atteint des résolutions supérieures aux exigences du FBI en la matière : plus de 1000 dpi, soit deux fois plus que le minimum requis par le cahier des charges du projet.
Le capteur est constitué de matrices de bouquets de nanofils de ZnO, ces derniers formant autant de pixels connectés à leur base ainsi qu'à leur extrémité haute. Grâce à leurs propriétés piézoélectriques, les nanofils de ZnO produisent un courant électrique en reprenant leur forme initiale après une compression ou une flexion. Lorsqu'un doigt est posé dessus, la déformation locale du réseau de nanofils génère un potentiel dont l'amplitude est proportionnelle à leur déplacement, ce qui permet de distinguer les reliefs cutanés.
Pour l'occasion, les chercheurs du Leti ont dû relever plusieurs défis : obtenir une matrice de contacts en ZnO dopé (GZO) sur une puce de silicium avec une forte densité de motifs. Cette matrice a été conçue et fabriquée en 200 mm en salle blanche. Un démonstrateur de 250 pixels a été testé par IDEMIA.