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PLATE-FORME TECHNOLOGIQUE

Plateforme nano-caractérisation

La plateforme de nano-caractérisation dispose d'une cinquantaine d'équipements complémentaires à l'état de l'art pour étudier les propriétés morphologiques, physiques, chimiques, électriques, de matériaux et de composants innovants pour les micro et nanotechnologies.

Publié le 5 juillet 2022


PLATEFORME NANO-CARACTÉRISATION

Caractérisation de matériaux et composants avancés pour soutenir l’innovation de rupture

La plateforme de nano-caractérisation dispose d'une cinquantaine d'équipements complémentaires à l'état de l'art pour étudier les propriétés morphologiques, physiques, chimiques, électriques, de matériaux et de composants innovants pour les micro et nanotechnologies.

Une centaine de chercheurs opèrent ces équipements afin d'accompagner les développements technologiques de start-up, grands groupes, équipementiers désireux de perfectionner leurs instruments de caractérisation.

Ils caractérisent des matériaux avancés, des empilements complexes, de nouvelles architectures, des procédés de fabrication, grâce à des protocoles dédiés d'analyse et de caractérisation. Pour disposer de techniques complémentaires, ils s'appuient si besoin sur l'ESRF, l'ILL ou sur des partenaires académiques.

La plateforme fournit à ses partenaires des résultats et des éléments d'interprétation adaptés à leurs besoins : cartographies 2D à l'échelle atomique, reconstructions 3D multi-échelles, spectres d'analyse, structures cristallographiques, compositions de surfaces, entre autres.  




Quelles sont les expertises mises à disposition des industriels ?

• Développement de techniques et protocoles de nanocaractérisation
• Préparation d’échantillons avancée
• Algorithmes de traitement des données d’analyse
• Matériaux et technologies écoresponsables





Des équipements préindustriels
à la pointe

• Microscopie électronique en transmission analytique corrigée en aberration : Titan Ultimate de ThermoFisher Scientific
• Morphologie 3D par diffusion centrale 
des rayons X : Xeuss 2 de Xenocs
• Spectromètre de masse à temps vol en mode tandem : nanoTOF de Physical Electronics
• Spectromètre de photoélectrons de haute énergie des interfaces enterrées : Quantes de Physical Electronics
• Sonde Atomique Tomographique FlexTAP de Cameca




Comment travailler avec
la plateforme nanocaractérisation?

Les équipes du CEA-Leti accompagnent les besoins des industriels en innovation sur toutes les étapes de développement à travers des contrats bilatéraux ou des laboratoires communs. La plateforme compte une dizaine de partenaires, parmi eux : SERMA Technologies, Physical Electronics (ULVAC-PHI) et Attolight.




ACTIVITES MAJEURES:

  • Résonance magnétique

  • Champ proche

  • Faisceaux d'ions
  • Analyse de surface
  • Optique & Rayons X
  • Microscopie électronique 
  • Préparation d'échantillons
  • Traitement numérique des données 

CHIFFRES CLES:

  • 3 600 m² d'équipements
  • 100 ingénieurs-chercheurs
  • 90 publications par an
  • 35M€ d’investissements cumulés

AVEC LE SOUTIEN DE

  • ANR, CEA

IMPLANTATION

  • CEA-Leti, CEA-Liten, CEA-Irig (DRF)