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MEMS : une première mondiale au Leti


​​​​​Pour la première fois, le Leti, institut de CEA Tech, a produit des accéléromètres de type MEMS sur plaques de 300 mm, ouvrant la voie à la réduction du coût de fabrication de ces microsystèmes dont la demande va croissant pour faire notamment face à l'essor de l'internet des objets.​​​​​

Publié le 10 novembre 2015

L'IoT stimule le marché des MEMS[1], qui jouent un rôle essentiel  dans la capture et la numérisation des données du monde réel à partager sur internet. Les industriels du secteur doivent notamment relever le défi permanent de la faible consommation énergétique des puces, et d'un coût de fabrication le plus bas possible.

Grâce à sa technologie FDSOI, le Leti parvient à réduire de 40% la consommation énergétique des puces. Il offre également de nouvelles perspectives pour les industriels du secteur des MEMS en démontrant, pour la première fois, que la fabrication d'accéléromètres de type M&NEMS (une catégorie de MEMS intégrant des nano-objets) sur plaques de 300 mm est possible. La quasi-totalité de la centaine d'étapes de fabrication de ces objets a été réalisée sur la plate-forme 300 mm du Leti. Les tests électriques menés sur la première plaque ont montré des résultats très encourageants.

Le succès du transfert de la fabrication de MEMS sur la ligne 300 millimètres renforce la place de leader du Leti dans ce domaine, et ouvre la voie à la réduction des coûts de production de ces microsystèmes. Or, la réduction du coût des MEMS est l'un des facteurs clés pour conquérir les marchés à très fort volume du grand public et de l'IoT.



[1] Le chiffre d'affaires du marché mondial pour les MEMS directement utilisés dans les équipements industriels de l'IOT devrait passer de 16 millions de dollars en 2013 à 120 millions de dollars pour 2018 (source IHS technology)

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