Publié le 10 décembre 2020
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- Le CEA-Leti poursuit la montée en puissance de ses
équipements 300 mm. L'institut est désormais capable de fabriquer sur ses moyens propres les contacts ohmiques de faible résistance qui relient la partie active de ses circuits à leurs connexions (back-end). Ces contacts affichent des valeurs de résistance voisines de celles des industriels.
- Ce résultat est le fruit de deux ans de travail. Il se concrétise par la réalisation d'un jeu de masques et la création d'un process de production bien stabilisé. Le CEA-Leti, qui confiait à STMicroelectronics certaines étapes de fabrication de ses contacts 300 mm, peut désormais les réaliser seul et réduire les délais de ses projets.
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