​Laurent Wauquiez et Yannick Neuder ont été accueillis par Stéphane Siebert, Directeur de la direction de la recherche technologique (DRT) du CEA, chargée de la diffusion technologique vers les entreprises et Jean Therme, conseiller spécial auprès du directeur de la DRT. En présence d’Emmanuel Sabonnadière, directeur du CEA-Leti et à l’issue d’une visite des salles blanches de l’institut pionnier dans les domaines des micro et nano-technologies, Laurent Wauquiez a inauguré le scanner 193 nm à immersion cofinancé par la Région et le CEA (35M€). Les premiers résultats techniques et les perspectives ouvertes par le nouvel équipement à l'état de l'art mis en place sur la ligne 300 mm de la salle blanche du CEA-Leti ont été présentés. Dans l’optique d’acquérir une plus grande autonomie technologique, pour répondre à la demande des industriels, ce scanner permettra à l’institut d'atteindre des niveaux de précision de lithographie inégalés au CEA-Leti.

Une rencontre avec de jeunes chercheurs et des sous-traitants locaux s’est également tenue.

Florence Lambert, directrice du CEA-Liten, premier institut européen entièrement dédié à la transition énergétique, a ensuite présenté l’atelier pilote hydrogène, également cofinancé par la Région et le CEA (25M€) ainsi que la stratégie filière hydrogène déployée. Dédié à la fabrication et au test de stacks d’électrolyse à haute température, l’atelier pilote hydrogène prépare l’industrialisation de cette technologie innovante pour la production d’hydrogène décarboné. La visite s’est achevée par une rencontre avec des partenaires industriels et académiques.

​ © Pierre Jayet	​ © Pierre Jayet
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