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Iridium CVD using di-mu-Chloro-tetrakis(trifluorophosphine)diiridium (I) Precursor, in-situ generated from Chlorotetrakis (trifluorophosphine)iridium

Publié le 19 mars 2015
Iridium CVD using di-mu-Chloro-tetrakis(trifluorophosphine)diiridium (I) Precursor, in-situ generated from Chlorotetrakis (trifluorophosphine)iridium
Auteurs
Tran P D, Barthes-Labrousse M G, Doppelt P
Revue
Année2 009
InstitutiRTSV

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