La plateforme Microsystèmes 200 mm et 300 mm développe des capteurs, des actionneurs, des microsystèmes radiofréquence (MEMS-RF) et des solutions de packaging intégré.

Ses effectifs, son parc d’équipements, son rayonnement international en font le premier site mondial de R&D sur les microsystèmes haute performance.

La plateforme optimise les solutions de capteurs et actionneurs actuels, leur intégration, leur fiabilité. Elle réduit leur coût et leur consommation électrique, dans un objectif de transfert industriel. Elle étudie de nouveaux matériaux, notamment piézoélectriques, conçoit et développe de nouveaux composants et les filières technologiques associées.

Ses microsystèmes sont destinés aux marchés de la téléphonie mobile, du médical, de l’automobile, de l’industrie, de l’aéronautique, du spatial, de la Défense etc.

La plateforme mène une vingtaine de collaborations industrielles avec des fabricants de composants, des systémiers et des end-users. Ses activités couvrent toute la chaîne de développement de composants : simulation, conception, développement technologique, démonstrateurs et transfert industriel.

​	​ Quelles sont les expertises mises à disposition des industriels ? • Conception, simulation & modélisation de composants microsystèmes • Développement de nouveaux procédés de fabrication • Fabrication et montée en maturité de filières technologiques • Tests électromécaniques, acoustiques, thermiques et fiabilité des microcomposants  • Transfert de microsystèmes 200 mm et 300 mm vers des fonderies industrielles
​	​​Des équipements préindustriels à la pointe • Outils de simulation multi-physique (COMSOL, ANSYS, CADENCE, SPICE…) • Equipements spécifiques pour la fabrication des MEMS : DRIE, HF vapeur, bonder sous vide, stepper avec alignement double-face... • Accès au parc d’équipements de la plateforme nanocaracterisation Outils de tests & caractérisation • Equipements de tests sous pointe automatiques, semi-automatiques et manuels en environnement contrôlé (température et pression) • Equipements de caractérisation matériaux (nanoindenteur, traction-compression et microtraction) • Essais mécaniques (platine tournante, pot vibrant) • Analyse de gaz résiduel par spectrométrie • Tests de robustesse et fiabilité (chambres climatiques, platines tournantes) • Moyens d’observation (infrarouge, thermographie, vibrométrie laser) • Chambre anéchoïque
​	​​Comment travailler avec la plateforme? Les équipes du CEA-Leti accompagnent les besoins des industriels (grands groupes, PME/ETI et start-up) sur tout ou partie des étapes de développement, à travers des contrats bilatéraux ou des laboratoires communs. La plateforme compte une vingtaine de partenaires industriels de la téléphonie mobile, du médical, de l’automobile, de l’industrie, de l’aéronautique, du spatial, de la Défense.