Comment ça marche ?
Les capteurs cMUT (transducteurs ultrasons micro-usinés capacitifs) et pMUT (transducteurs ultrasons micro-usinés piézo-électriques) sont des émetteurs/récepteurs d’ultrasons miniaturisés et bas coût, capables de fonctionner à plusieurs fréquences. Leurs membranes de taille microscopique vibrent entre 1 et 30 MHz et génèrent une onde ultrasonore qui se propage dans un milieu liquide, se réfléchit sur l’objet biologique observé, puis leur revient.
Quels atouts ?
Les capteurs ultrasons cMUT et pMUT remplacent avantageusement les transducteurs ultrasonores à base de céramiques massives utilisés actuellement. Ils sont beaucoup plus petits et peuvent être co-intégrés à des circuits électroniques pour miniaturiser le système complet. Ils fonctionnent sur une bande de fréquence plus étendue, d’où des images de meilleure résolution.
Enfin ils sont peu couteux à produire en volume grâce à une fabrication collective sur silicium avec procédés standards. Ils sont protégés par 11 brevets.
Nos axes de recherche :
- capteurs conformables à membrane flexible ;
- traitement du signal ;
- packagings biocompatibles.
Quelles applications ?
- échographie de haute résolution ;
- mesure de la tension artérielle via un patch ou un dispositif porté ;
- stimulation neuronale à visée thérapeutique
« Avec ces capteurs ultrasons miniaturisés, on peut imaginer demain une sonde échographique de la taille d’un patch, pour un meilleur suivi et une meilleure prise en charge des patients. » Bruno Fain,
ingénieur de recherche
au CEA-Leti