SL-DRT-24-0356
| Domaine | Matériaux et procédés émergents pour les nanotechnologies et la microélectronique
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| Domaine-S |
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| Thème | Défis technologiques
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| Theme-S |
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| Domaine de recherche | Matériaux et procédés émergents pour les nanotechnologies et la microélectronique
Défis technologiques
DRT
DPFT
SPAT
LGRA
Grenoble
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| Intitule du sujet | Procédés de gravure séche innovants de matériaux exotiques
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| Résumé du sujet | Les propriétés avantageuses (electro –optiques, - acoustisques, -mécaniques) de nouveaux matériaux comme l’ALN dopé Sc, le LNO, le LTO ou le KNN les rendent incontournables pour répondre aux besoins d’évolution de l’optique intégrée, les télécommunications (RF) et les microsystèmes. La réalisation de motifs aux dimensions submicroniques avec une vitesse d’attaque suffisante (>100nm/min), un profil de gravure vertical et une rugosité réduite des flancs sont les objectifs majeurs du travail de thèse pour satisfaire les critères de performances des dispositifs ciblés au niveau applicatif.
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| Formation demandée | Master 2 science des matériaux
Direction de la Recherche Technologique
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| Informations | Département des Plateformes Technologiques (LETI)
Service des procédés de Patterning
Laboratoire Gravure
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| Université/école doctorale | Université Grenoble Alpes
Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS)
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| Directeur de thèse | |
| Personne à contacter par le candidat | CAMPO
Alain
CEA
DRT/DTSI/SPAT/LGRA
CEA GRENOBLE
0438782810
alain.campo@cea.fr
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| Date de début souhaitée | 09/01/2024 |