SL-DRT-24-0538
Domaine | Nano-caractérisation avancée
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Domaine-S | Electronique et microélectronique - Optoélectronique
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Thème | Défis technologiques
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Theme-S | Sciences pour l’ingénieur
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Domaine de recherche | Nano-caractérisation avancée
Défis technologiques
Electronique et microélectronique - Optoélectronique
Sciences pour l’ingénieur
DRT
DCOS
SCCS
LCEF
Grenoble
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Intitule du sujet | Caractérisation électrique et fiabilité de transistors FDSOI de nouvelle génération
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Résumé du sujet | La situation de Covid 19 et la crise de la chaîne d'approvisionnement qui a suivi ont révélé au monde à quel
point les semi-conducteurs étaient essentiels pour un large éventail d'applications. Les politiciens et les
citoyens ont pris conscience que les secteurs de l'industrie et de la recherche du semi-conducteur étaient
stratégiques. En France, le gouvernement a chargé le CEA Leti de développer des technologies plus
économes en énergie comme la prochaine génération de dispositifs FDSOI (Fully Depleted Silicon On
Insulator).
Pour atteindre les performances visées de cette nouvelle génération de transistors, plusieurs améliorations
technologiques originales sont étudiées, comme l'utilisation d'une contrainte dans le canal et d'une épaisseur
réduite pour le film de Si et pour l'oxyde. L'impact de certains de ces nouveaux procédés sur les
performances et la fiabilité du dispositif sont encore inconnus et doivent être soigneusement évalué.
Dans ce contexte, le but de la thèse sera de caractériser électriquement les empilements de grille HK/MG de
cette nouvelle génération de transistors FDSOI pour en évaluer leur performance et leur fiabilité à long terme.
Un travail de modélisation des effets physiques observé sera aussi demandé. Un grand nombre de variantes
technologiques seront comparées afin de déterminer le meilleur compromis entre performance du dispositif et
sa fiabilité
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Formation demandée | Master 2 / Ecole ingénieur
Direction de la Recherche Technologique
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Informations | Département Composants Silicium (LETI)
Service Caractérisation, Conception et Simulation
Laboratoire Caractérisation Electrique et Fiabilité
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Université/école doctorale | Université Grenoble Alpes
Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS)
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Directeur de thèse | |
Personne à contacter par le candidat | VANDENDAELE
William
CEA
DRT/DCOS/SCCS/LCEF
CEA LETI
DCOS/SMCE/LCTE
17 avenue des Martyrs
38054 Grenoble Cedex
0630924002
william.vandendaele@cea.fr
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Date de début souhaitée | 02/01/2024 |