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PsD-DRT-10-5629

Publié le 7 décembre 2023
PsD-DRT-10-5629
Domaine de rechercheMatière ultra-divisée, physico-chimie des matériaux

Domaine-SMatériaux et applications

ThèmePhysique de l’état condensé, chimie et nanosciences

Theme-SSciences pour l’ingénieur

Domaine
Matière ultra-divisée, physico-chimie des matériaux Physique de l’état condensé, chimie et nanosciences Matériaux et applications Sciences pour l’ingénieur DRT DPFT SDEP LDJ Grenoble
Intitulé de la proposition
Elaboration de nanofils Si pour des applications en microélectronique
Resumé
La réalisation de capacités intégrées présentant une forte capacité surfacique nécessite un déploiement de la surface des électrodes. Dans ce travail, nous proposons d’augmenter cette surface spécifique en intégrant dans les capacités des nanofils de Si.Une première partie de ce travail sera consacrée à l’étude de compréhension et à l’optimisation du procédé de croissance de nanofils de silicium par CVD. En parallèle, les propriétés des nanofils de silicium obtenus par gravure électrochimique seront évaluées et seront comparés à celles des nanofils obtenues par CVD. Selon les caractéristiques électriques obtenues, différentes stratégies (métallisation, silicuration…) seront envisagées afin d’améliorer leur conductivité électrique.
Informations pratiques
Département des Plateformes Technologiques (LETI) Service des procédés de Dépôts Laboratoire
Date début de la proposition09/01/2010
email personne à contactervincent.jousseaume@cea.fr
Personne à contacter
JOUSSEAUME Vincent CEA DRT/DPFT/SDEP/LDJ 17, Avenue des Martyrs 38054 Grenoble cedex 9 0438789522

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