NOS COMPÉTENCES
Les
fabricants de micro et nano systèmes électromécaniques (MEMS et NEMS) doivent
relever le défi permanent de la faible consommation énergétique des puces, mais
également se confronter au coût de fabrication de leurs composants clés.
Bénéficiant de 35 ans d’expérience dans le domaine des MEMS, le Leti, institut
de CEA Tech, est l’un des plus importants laboratoires mondiaux dans ce
domaine, et affiche un très grand nombre de transferts industriels.
Il offre, de fait, une palette d’activités très large couvrant toute la chaine
de développement des MEMS et des NEMS : capteurs, actionneurs, composants
RF, intégration 3D et enfin,
caractérisation et études de fiabilité spécifiques.
Emblématique du laboratoire, la technologie M&NEMS permet de combiner sur
un même capteur des nano-objets (nanofils piézorésistifs) et des MEMS. Elle est
une voie à la réduction des coûts de production car elle permet de réaliser des
dispositifs plus petits que les MEMS classiques à détection capacitive.
NOS MOYENS
 | PLATE-FORME Microsystèmes 200mm et 300mm |
NOS TRAVAUX