Les NEMS (Nano Electro Mechanical Systems) ont un potentiel de développement dans le domaine de l'analyse de gaz, par exemple pour la sécurité ou le contrôle industriels, ainsi que pour l'analyse de la qualité de l'air. Autre débouché possible : la spectrométrie de masse pour la détection de virus et de bactéries. Mais avant d'envisager leur industrialisation, il est nécessaire d'augmenter leur sensibilité et leur sélectivité.

Le Leti vient de faire un pas en ce sens en co-intégrant un NEMS avec un circuit intégré CMOS (Complementary Metal Oxide Semi-conductor). « Le fonctionnement des NEMS repose sur la mesure d'une variation de leur fréquence de résonnance en présence de la molécule à identifier. Or, compte-tenu des dimensions nanométriques du NEMS, il faut être capable de mesurer une variation infinitésimale de résonance le plus précisément possible. Pour y parvenir, le meilleur moyen reste d'associer au NEMS un circuit CMOS, qui permet de mesurer le signal électrique du NEMS dans des conditions optimales, et d'ajouter des fonctions de traitement du signal complexes on-chip. »

Facile à dire, mais pas facile à faire. Car les techniques de fabrication de ces deux éléments font appel à des procédés différents et nécessitent de nombreuses étapes. Les chercheurs du Leti ont croisé leurs compétences en microélectronique et leur expertise unique et mondialement reconnue dans le domaine des NEMS pour réussir cette prouesse, ouvrant ainsi le champ des possibles. A suivre.