Le fonctionnement d'un haut-parleur piézoélectrique repose sur les propriétés de déformation des matériaux piézoélectriques lorsqu'ils sont soumis à un champ électrique. Dans le cas du tout récent haut-parleur digital développé à partir de technologies MEMS par le Leti, le matériau utilisé pour réaliser l'actionneur piézoélectrique est une couche mince de PZT (Titano-Zirconiate de Plomb). « Le matériau a été déposé selon la méthode dite sol-gel, qui permet d'obtenir les meilleures qualités cristallines et les meilleurs rendements, » précise-t-on au Leti. Le laboratoire dispose d'une plateforme dédiée au PZT, à la pointe de la technologie, qui permet d'analyser et de comprendre le comportement de ce matériau et d'en améliorer les performances.

Une aubaine, car de nombreuses autres utilisations du PZT sont envisageables dans le domaine des MEMS. Ces derniers, de plus en plus présents dans  notre vie quotidienne, ont pour certaines applications besoin d'être associés à des capteurs ou des actionneurs, lesquels peuvent être constitués de PZT. Les débouchés envisagés vont des composants radiofréquence aux dispositifs de restitution haptique pour les nouvelles interfaces homme-machine, en passant par des dispositifs médicaux ou encore des composants optiques…