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Les microscopes

Le microscope à force atomique (AFM), simple et polyvalent


​Vu de très près, la surface d’un matériau est un vrai champ de forces. Les atomes « crochus » s’attirent et ceux qui sont déjà liés à d’autres repoussent les intrus.

Publié le 22 mai 2008

​Entre deux atomes, l’attraction, qui met en jeu les forces de Van der Waals, permet de former des molécules ou des cristaux tandis que leurs nuages électroniques se repoussent mutuellement. Puisque ces forces sont très faibles, il faut rester à des distances très petites pour les sentir.


VidéoLe microscope à force atomique


En principe

Lorsque la pointe du microscope AFM se déplace sur la surface, elle fait ployer son support, le micro levier ou « cantilever » fait le plus souvent de silicium.

Principe du microscope à force atomique (AFM)

Principe du microscope à force atomique (AFM) © C. Reyraud

Pour en savoir plus

Ce sont des céramiques déformables (tube central) grâce à l’effet piézo-électrique qui ont permis l’avènement de toute cette famille de microscopes...

Il y a trois façons d’utiliser la pointe de l'AFM :

  • Dans le mode contact, la pointe appuie sur la surface. Les cortèges électroniques des atomes se repoussent. Le levier est dévié.

  • Dans le mode contact intermittent (tapping), de loin le plus utilisé, le levier vibre à une centaine de kHz. Lorsque la pointe interagit avec la surface, l'amplitude de la vibration décroît parce que la fréquence s’éloigne de la résonance.

  • Dans le mode non-contact, la pointe est attirée. Les forces attractives étant très faibles, il faut travailler au froid et sous vide pour éviter l’humidité et l’agitation thermique.


En pratique

L’échantillon est débarrassé des poussières avant d’être posé sur la platine
L’échantillon est débarrassé des poussières avant d’être posé sur la platine. © CEA/DRT/Leti/D2MT/C. Reyraud
L’opérateur fait descendre la tête jusqu’à l’échantillon à l’aide d’un joystick
L’opérateur fait descendre la tête jusqu’à l’échantillon à l’aide d’un joystick. © CEA/DRT/Leti/D2MT/C. Reyraud
Une caméra contrôle la position de la tête et un laser (à gauche) repère la courbure du bras flexible qui porte la pointe
Une caméra contrôle la position de la tête et un laser (à gauche) repère la courbure du bras flexible qui porte la pointe. © CEA/DRT/Leti/D2MT/C. Reyraud
microscope à force atomique
© CEA/DRT/Leti/D2MT/C. Reyraud
microscope à force atomique
© CEA/DRT/Leti/D2MT/C. Reyraud
microscope à force atomique
© CEA/DRT/Leti/D2MT/C. Reyraud

La précision du système repose en grande partie sur la qualité de cette pointe (à droite) : plus elle est fine, plus elle sera sensible aux détails de la surface.​

L’examen commence : la pointe déplacée latéralement par son support balaie la surface de l’échantillon
L’examen commence : la pointe déplacée latéralement par son support balaie la surface de l’échantillon. Elle est maintenue à distance constante de la surface grâce au laser et au système d’asservissement. © CEA/DRT/Leti/D2MT/C. Reyraud
Les déplacements en hauteur de la pointe sont enregistrés via le système d’asservissement
Les déplacements en hauteur de la pointe sont enregistrés via le système d’asservissement. © CEA/DRT/Leti/D2MT/C. Reyraud
Cette dénivellation est retranscrite à l’écran via l’ordinateur tandis que le balayage décrit toute la surface
Cette dénivellation est retranscrite à l’écran via l’ordinateur tandis que le balayage décrit toute la surface.
© CEA/DRT/Leti/D2MT/C. Reyraud
L’AFM repose sur le système de mise en mouvement de sa tête, de son micro levier et de sa pointe
L’AFM repose sur le système de mise en mouvement de sa tête, de son micro levier et de sa pointe. © CEA/DRT/Leti/D2MT/C. Reyraud