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Plateformes et équipements de pointe pour les matériaux

Publié le 25 avril 2016

​Découvrez quelques exemples d’équipements de recherches ouverts aux entreprises dans le domaine des matériaux.

Plateforme NANO-CARACTERISATION

Pour élaborer matériaux et composants à l’échelle nanométrique*, il faut connaître leur morphologie et leurs propriétés chimiques et physiques. C’est le rôle de la plateforme Nanocaractérisation (PFNC) : ses 80 chercheurs et techniciens utilisent une quarantaine d’équipements lourds, capables de scruter la matière en 2 D ou en 3 D à une échelle proche de celle de l’atome.

La PFNC offre sur 2 500 m2 un regroupement unique au monde de compétences en nanocaractérisation. Elle intervient en support des programmes de recherche du CEA, développe de nouvelles techniques d’analyse et collabore avec une vingtaine d’équipementiers, de start-up et de grands industriels (IBM, STMicroelectronics…).

* 1 nanomètre = 1 milliardième de mètre



Plateforme LASER SLIC

Le Centre d’interaction laser-matière de Saclay (SLIC) est une infrastructure de recherche qui offre une large gamme de lasers femtosecondes et de stations expérimentales pour étudier les processus ultrarapides ainsi que l’interaction laser-matière à haute intensité. Les thématiques de recherche concernent en particulier le développement et les applications des sources XUV cohérentes femto / attosecondes, l'accélération laser de particules, l'interaction laser-solide à haute intensité ou encore la femto-chimie. La plateforme SLIC est membre du consortium européen d'infrastructures laser LASERLAB-EUROPE.

Les installations SLIC suscitent des collaborations étroites avec de nombreux partenaires industriels, dont les principaux domaines d’activité concernent le développement de lasers femtosecondes ou de l’instrumentation associée.



Plateforme de Technologie Amont (PTA)

La Plateforme de Technologie Amont (PTA) est gérée conjointement par le LTM (Laboratoire des technologies de la Microélectronique LTM, CNRS-UJF-INP) et l'INAC (Institut Nanosciences et Cryogénie, CEA). A Grenoble, elle s’inscrit dans une logique de complémentarité vis-à-vis des platesformes de technologie 200 et 300 mm du CEA-Léti.

La PTA offre une grande souplesse au niveau de la nature des matériaux et des substrats, ainsi que de leur taille (quelques mm2 jusqu’au substrat 100mm). Elle est basée sur un modèle de fonctionnement souple qui se veut réactif dans des délais courts. Un parc d’équipements performants pour la micro et nano fabrication est disponible sur 700m2 de salle blanche ouverte aux industriels et chercheurs en nanosciences et nanotechnologies. Ce parc d’équipements permet de réaliser des assemblages technologiques complexes et multi-matériaux jusqu’à l’échelle déca-nanométrique.

Accueil sur la Plateforme

Les travaux exécutés sur la PTA prennent la forme de projets, qui sont préalablement validés par un groupe d’experts techniques simplement sur des critères de faisabilité technique. Après une formation, vous travaillez en autonomie sur les équipements. Dans certains cas, le groupe technique peut réaliser lui-même les opérations technologiques demandées.


Plateforme Accès aux faisceaux (GANIL)

Le GANIL est un laboratoire qui fournit à la communauté internationale de la recherche en physique nucléaire des faisceaux d'ions lourds (du Carbone à l'Uranium, jusqu'à 95 MeV/n).

Au-delà de la recherche fondamentale, une ligne de faisceau a été dédiée aux applications industrielles, essentiellement de deux types :

  • à moyenne énergie pour l'irradiation de polymères(réalisation de membranes microporeuses, développement de microstructures etc…). Dans ce domaine, le GANIL collabore avec des petites entreprises et des start-ups européennes ;
  • à haute énergie, pour les tests et certifications de composants pour l'espace. Cette application concerne tous les partenaires de cette discipline (CNES, ESA, ATMEL, INFINEON, ST Micro…)

Un planning annuel permet de consacrer de 7 à 8% du temps de faisceau à ces applications. Au-delà des faisceaux GANIL, l'installation SPIRAL2 pourra donner accès, dans un avenir proche, à des faisceaux de neutrons.




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Le microscope élélectronique en transmission Titan3 Pico possède une résolution ultime de 0,5 Å. © P.Avavian/CEA









La plateforme SLIC © P.Stroppa/CEA
La plateforme SLIC © P.Stroppa/CEA






MASQUEUR ELECTRONIQUE JEOL 6300 FS (équipement de lithographie électronique) © L.Godart/CEA
MASQUEUR ELECTRONIQUE JEOL 6300 FS (équipement de lithographie électronique) © L.Godart/CEA

















Spiral2 est un maillon important de la stratégie européenne pour la physique nucléaire. © P.Stroppa/CEA
Spiral2 est un maillon important de la stratégie européenne pour la physique nucléaire. © P.Stroppa/CEA